-
МОДЕЛИРОВАНИЕ ОТКЛОНЕНИЯ КАНТИЛЕВЕРА НА ОСНОВЕПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Целью работы является разработка модели АСМ микрокантилевера на основе поликристаллического кремния и получение с ее помощью зависимостей влияния геометрических параметров на его чувствительность. Это позволит провести оптимизацию конструкции микрокантилеверов, которые используются в атомно-силовой микроскопии с оптической системой регистрацией отклонения.