стань автором. присоединяйся к сообществу!
Добавить новость можно всем, без премодерации, только регистрация
Лого Сделано у нас
Kотенко Cергей 30 мая 2025, 09:59 2245 Электроника, электротехника и приборы

Новосибирская компания «Оптические системы» создала лазер для литографов на 257 нанометров

 © tehnoomsk.ru

Российская компания «Оптические системы» (Новосибирск) сообщила о создании отечественной «лазерной системы для печати шаблонов с помощью ультрафиолетового излучения при изготовлении микросхем.

Предсерийный прототип пройдет испытания на белорусском предприятии электронной промышленности «Планар», которое, как известно, сегодня участвует в разработке полностью российского литографа.

читать полностью
Источник: tehnoomsk.ru
электроника, Новосибирская область
все комментарии
  • 3
    Нет аватара termometrix
    31.05.2506:37:28

    Президент РАН,27.05.2025 г.: «Сейчас тестируется степпер с эксимерным лазером с длиной волны 248 нм — проект, на котором через два-три года мы сумеем реализовать часть технологического маршрута по технологии 90 нм и затем 65 нм. Важно, что параллельно развернута программа «электронного машиностроения»: создаются свои эксимерные лазеры, установки атомарно-слоевого осаждения, ионные имплантеры, установки травления и осаждения.Кроме того, особняком стоят работы по разработке собственных особо чистых материалов — в том числе фоторезистов. При этом требования к чистоте материалов очень высоки."

    ТАСС

    https://news.ma...ciety/66307053/

    Отредактировано: termometrix~06:40 31.05.25
    #1301920 ↑
    • 1
      Нет аватара DimaY
      01.06.2522:12:30

      Я и написал, что 248 нм это должен быть эксимерный лазер. И тут дело не только в нм. Тут важна мощность и площадь экспонируемой поверхности. Поясню. При облучении фоторезист должен под действием света подвергнуться химической реакции. Световой поток в единичной точке должен быть не ниже определенного значения. Если у Вас мощность источника маленькая, то и облучить Вы можете маленькую площадь. А значит сделать очень маленький чип. Твердотельники имеют хорошую энергоэффективность для маленьких чипов. Ну например можно сделать контроллер АБС по технологии 130 нм. И это будет выгодно, потому что низкие эксплуатационные затраты. Но универсальный процессор Вы не сделаете, там площадь чипа больше. Поэтому, для каждой задачи делают разные машины, по разным технологиям. Эксимерники у нас тестируют, реальных готовых решений не видел. Обещают машину к концу года. Есть предпосылки, что все пройдет хорошо.

      #1301948 ↑
Для комментирования вам необходимо зарегистрироваться и войти на сайт,