Установка магнетронного напыления ЭТНА-М

Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M разработчик и производитель ООО «СИТЭК»

Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током. Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.

Технические параметры:

• • поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;
  • расположение — лицом вниз;
  • максимальная температура нагрева — 350 ºС;
  • диаметр используемых мишеней — 76 мм;
  • мощность источника постоянного тока 1100 Вт;
  • напряжение максимальное — 1000 В;
  • откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;
  • количество газовых каналов — один с максимальным расходом 20 см3/мин;
  • способ регулирования — электронный регулятор;
  • предельный вакуум — 10^-6 торр;
  • управление — автоматическое от ПК или ручное;
  • контроль давления — с использованием химически стойкого мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов;
  • рабочее давление в реакторе — порядка 0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;
  • инфраструктурные требования — сжатый воздух;
  • питание - 220 В, не более 3 кВт;
  • масса не более 350 кг;

читать полностью